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Spin2000勻膠機
- 产品描述:Spin2000勻膠機
产品介绍
圖片 |
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描述 |
Spin2000勻膠機(Spin Coater),是新一代旋轉塗膜設備,具有速度精度高,主動式速度調控、勻膠過程多段程式控制等特點。 |
應用 |
Spin2000 勻膠機(Spin Coater),是新一代旋轉塗膜設備,具有速度精度高,主動式速度調控、勻膠過程多段程式控制等特點。主要用於微電子、半導體、製版、新能源、生物材料、光學器件等領域的表面塗膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻塗覆、生物功能塗層,半導體矽片,載玻片,晶片,基片,LED,光伏產業,ITO導電玻璃等工藝的製備。 分體式設計可以單獨使用,也可以放在手套箱中使用。 |
產品特點 |
1. 機身外殼採用防酸噴塗處理,防腐蝕、不生銹、易清潔。 2. 真空室採用316L耐腐蝕不銹鋼製作,防止長期使用過程中膠液的侵蝕。 3. 接膠盤為PP材料經精加工製作而成,接觸脫離基片的膠液,避免進入設備內部。耐腐蝕、可拆卸、易清洗。 4.旋轉臺採用鋁材製作,表面經過硬質氧化處理,耐摩擦同時避免劃傷基片底部。防止膠液的腐蝕。 5.勻膠過程全自動分段程式控制。整個勻膠過程最多可分九段進行,每段的加速時間、旋轉速度、勻膠時間均可精密控制、連續可調。 6.4.3英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運行狀態及各項參數即時顯示,更直觀瞭解勻膠進程; 7. 旋轉前增加預吸片步驟,“預吸片時間”最多為99s,確保基片牢固吸附於旋轉臺後再進行旋轉塗膜。勻膠完成後增加解吸片步驟,“解吸片時間”最多為99s,確保安全停止後再切斷真空,釋放基片,防止塗膜後的基片滑落,對膜層造成損傷。 8.採用精密穩定的直流電機及驅動器,旋轉速度採用主動控制方式,區別於老舊的被動測速控制方式,從而使旋轉速度更精確。 9.標配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附於旋轉臺,防止飛片。 |
技術參數
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1.旋塗速度:400~8000 rpm 2.轉速調節精度:1rpm 3.每段加速時間:1~99 s 4. 每段勻膠時間:1~99 s 5.預吸片時間:1~99 s 6.解吸片時間:1~99 s 7. 鍍膜尺寸:5-100mm 8. 真空泵抽氣速率:60L/min |