Laurell/WS-650MZ-23NPPB

應用

650S型勻膠機適應於半導體、化工材料、矽片、晶片、基片、導電玻璃等工藝，製版的表面塗覆。

工作原理

勻膠機（spin coater）的工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的塗在基片上，甩膠機常用於各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜製作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯係數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

主要性能指標

1、腔體尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

2、Wafer晶片尺寸：10-150mm直徑的材料，方片125x125mm，小於10mm提供3mm的轉接託盤）；

3、轉動速度：0-12,000rpm，

4、旋塗加速度：0-30000rpm/sec（空載）；

5、馬達旋塗轉速：穩定性能誤差 < ±1%；

6、轉速調節精度：<0.2rpm，重複性< 0.2rpm；

7、工藝時間設定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；

8、勻膠機材質：NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性和抗化學物性，美觀大方；

9、高精度數碼控制器：PLC控制，設置點精度小於0.006%。

10、程式控制：可存儲20個程式段，每個程式段可以設置51步不同的速度狀態；

11、解析度：解析度小於0.5轉/分，可重複性小於±0.5轉/分，美國國家標準技術研究院（NIST）認證過的，並且無需再校準！]
12、配套真空泵系統：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲；

13、配套分析軟體：SPIN3000操作分析軟體；

14、原裝進口水準測試儀；

可選配置

IND構造為濕站系統設計，帶遠程控制；

OND構造為手套箱系統設計，帶遠程控制；

UD自動滴膠裝置：UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒，

EBR(Edge Bead Remover)：晶圓去邊，機械裝置；