Glove box & Thermal Evaporation Coaters

产品介绍

設備名稱：惰性氣體保護+鍍膜系統(大尺寸有機光電器件真空製備系統、薄膜太陽能電池材料綜合研發平臺)

一、 平臺基本參數

1、 總長約4500mm，寬約1500mm，高約2100mm；

2、 所需場地：長約4500mm，寬約2000mm，高約2500mm；

3、 操作平臺總重約：1500kg；

4、 安裝所需條件：

（1）、380V電源，16A，50HZ，1路；

（2）、220V電源，10A，50HZ，3路；

（3）、工作氣體：99.999%氮氣/氬氣

（4）、再生氣體：氮氣/氬氣與氫氣的混合氣，氫氣比例5%

（5）、冷卻水：15l/min，溫度控制在15℃以內，壓力2bar

5、參考圖片：

二、 平臺主要功能說明

對於從事薄膜太陽能電池材料以及器件研究的課題組來說，需要在惰性氣氛環境中從事各種不同材料的高真空鍍膜，並製備成器件後對器件進行光學、電學以及其他方面的測試，進而對材料、工藝進行評估。

該平臺將專門從事金屬材料薄膜的製備，應用於薄膜太陽能電池材料和器件的研究工作，該平臺是從事該領域科研工作必不可少的設備之一。主要用於加工沉積高質量、厚度精確控制的金屬薄膜。真空性能：極限真空(Ultimate Pressure): <9x10^-7mbar；基片片內、片間、批次間膜厚均勻性優於±5%，樣品臺帶有襯底固定裝置。鍍膜系統要求為PLC控制，可控制腔體抽真空、真空泵啟動等；即時動態獲取系統的狀態，如閥門位置、泵的狀態、真空狀態、擋板位置、鍍膜速率、膜厚度、安全互鎖狀態等，並具備數據存儲功能；系統具有自動和手動兩種操作模式；系統必須在每個必要的環節設置安全鎖和報警設置；操作介面需有不同帳戶的安全模式。同時需要確保提供一個穩定的無水無氧的環境，需配備高質量，性能穩定的惰性氣體操作系統。

完成器件的封裝後，通過太陽光模擬器的照射進行充電，接下來將對器件進行測試和評估。根據測試結果逆向判斷材料性能以及器件封裝的工藝。

反復試驗後，逐步提高材料性能和封裝工藝。

三、鍍膜機與手套箱連接方式